• No : 40477
  • 公開日時 : 2023/12/06 14:49
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S52 サーボ警告 96

回答

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アラーム種別
サーボ警告(S52)
アラーム名称
スケールフィードバック異常
機種名
M800V/M80V シリーズ・MDS-E/EH シリーズ
内容
MPIスケール絶対位置検出システムにおいて、メイン側検出器とMPIスケールとのフィードバック量の過大なずれを検出しました。
  • リセット方式:*
    警告を発生させている状態が解除されれば、自動的にリセットされます。
  • 停止方式:-
処置
  調査項目 調査結果 処置 SV SP
1 検出器の周囲環境などに異常がないか調査する。
(ex.周囲温度、ノイズ、接地)
周囲環境の異常原因に応じた処置を行う。  
2 再現性を確認する。 しばしば発生する。 検出器を交換する。
再現しない。 調査項目1を実施する。