製品情報

半導体製造工程向け産業用ロボット

その半導体製造工程、MELFAで自動化しませんか？

半導体製造工程の自動化にお困りではありませんか？
当社では、産業用ロボットを導入することで、設計時のさまざまなお悩みを解決できる可能性をご提案いたします。
以下の特長で、お客様の自動化・省人化の可能性を広げます！

◆ RV-20FRLは業界最小クラスの20kg可搬ロボットで、動作範囲が限られる狭い装置や工程にも組込可能です。

◆ 許容モーメントと許容イナーシャをRV-13FRLに比べ大幅に改善し、大型ハンド装着時の振動を抑制することができます。

許容モーメント [N・m]

許容イナーシャ [kgm²]

◆ 垂直多関節ロボットなら上下方向の搬送動作や位置姿勢の微調整と変更が可能！

◆ 三菱電機の新制御 MELFA High Drive により業界最高クラスの制振性能を実現。
(MELFA High Drive対応機種のみ)

◆ クリーン仕様のロボットは、ISOクラス3の準拠を保証するため、全てのロボットに対してパーティクルカウンターを用いたダスト量チェックを実施しています。基準値以下であることを確認した上で出荷をしています。

◆ オイルミストや粉塵環境でご使用いただけるモデルもご用意。様々な環境で安心してご使用いただけます。